클린룸 설비의 에너지 절약 대책

클린룸 설비의 에너지 절약 대책 

저자 유경훈
학술지정보 공기청정기술 KCI
발행정보 한국공기청정협회 2004년
자료제공처 국회도서관 KISTI
주제분야 공학 >  환경공학




<목차>
클린룸 설비의 에너지 절약 대책 / 유경훈 1
1. 머리말 1
2. 반도체 공장에 있어서의 에너지 절약 방안 1
2.1. 에너지 소비량의 구성 1
2.2. 에너지 절약 방안 4
3. 액정 공장에서의 에너지 절약 방안 10
3.1. 에너지 소비량의 구성 10
3.2. 에너지 절약 방안 11
4. 맺음말 18
참고문헌 19












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