반도체/디스플레이 클린룸의 공조에너지 절감

반도체/디스플레이 클린룸의 공조에너지 절감

저자 유경훈

학술지정보 공기청정기술 KCI

발행정보 한국공기청정협회 2007년

자료제공처 국회도서관 KISTI
주제분야 공학 >  환경공학

<목차>
반도체/디스플레이 클린룸의 공조에너지 절감 / 유경훈 1
1. 머리말 1
2. 반도체/디스플레이 클린룸의 공조에너지 및 외기부하 1
2.1. 반도체/디스플레이 클린룸의 에너지 특성 1
2.2. FFU방식 클린룸 시스템의 공조에너지 분석 3
2.3. FFU방식 클린룸의 외기부하 분석 7
3. 반도체/디스플레이 클린룸용 에너지절약형 외기공조시스템 11
3.1. 배기 열회수식 에어와셔 외기공조시스템 11
3.2. 하이브리드 열회수식 에어와셔 외기공조시스템 15
4. 맺음말 17
참고문헌 17

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